Travel Range
20 mm
Rezolucija
0,125 μm
Ponovljivost
＜1 μm
Ravnost
＜2μm
Paralelizam
＜5 μm
Bacanje
10″（50 μrad）
vrtenje
Maksimalna brzina
5 mm/sek
Pun kapacitet
10 kg
Težina
1,5 kg
